Protection AGV
產(chǎn)品中心
Protection AGV
TVPS-MF125S42
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品概要
用途:安裝在 Vacuum Pump 前端，使 主設(shè)備及 Fore-line 和 Vacuum Pump 進(jìn)行隔離。
· 為了保持設(shè)備或Fore-line清潔度和真空度.免受因Pump異常狀態(tài)和作業(yè)等引起的污染，必要時進(jìn)行隔離。
· 正常Process以外設(shè)備或Fore-line作業(yè)時，從上部Condition到Pump 進(jìn)行隔離，防止Pump過載或受污染?？煞乐乖O(shè)備或Fore-line 作業(yè)時，Pump 停止后重啟而導(dǎo)致的Fail現(xiàn)象。
· Pump Trip時快速關(guān)閉，從而防止或*小化 背壓 & 污染源逆流現(xiàn)象,→保護(hù)Chamber和Wafer免受Particle 等污染。
產(chǎn)品性能
· Soft Pumping 功能；
· Quick Closing (0.4~0.6s)；
· 通過Pump/設(shè)備端通信可 Auto Close及Monitoring；
· Powder & Particle Protection 功能；
· Powder 多的工藝適用；