產(chǎn)品概要

用途:安裝在 Vacuum Pump 前端，使 主設備及 Fore-line 和 Vacuum Pump 進行隔離。

·  為了保持設備或Fore-line清潔度和真空度.免受因Pump異常狀態(tài)和作業(yè)等引起的污染，必要時進行隔離。

·  正常Process以外設備或Fore-line作業(yè)時，從上部Condition到Pump 進行隔離，防止Pump過載或受污染。可防止設備或Fore-line 作業(yè)時，Pump 停止后重啟而導致的Fail現(xiàn)象。

·  Pump Trip時快速關閉，從而防止或*小化 背壓 & 污染源逆流現(xiàn)象,→保護Chamber和Wafer免受Particle 等污染。

產(chǎn)品性能

·  Soft Pumping 功能；

·  Quick Closing (0.3~0.4s)；

·  通過Pump/設備端通信可 Auto Close及Monitoring；

·  Vibration & Particle free -In-Line Gate Valve；

·  性價比高；