產(chǎn)品概要

用途:安裝在 Vacuum Pump 前端，使 主設(shè)備及 Fore-line 和 Vacuum Pump 進行隔離。

·  為了保持設(shè)備或Fore-line清潔度和真空度.免受因Pump異常狀態(tài)和作業(yè)等引起的污染，必要時進行隔離。

·  正常Process以外設(shè)備或Fore-line作業(yè)時，從上部Condition到Pump 進行隔離，防止Pump過載或受污染?？煞乐乖O(shè)備或Fore-line 作業(yè)時，Pump 停止后重啟而導(dǎo)致的Fail現(xiàn)象。

·  Pump Trip時快速關(guān)閉，從而防止或*小化 背壓 & 污染源逆流現(xiàn)象,→保護Chamber和Wafer免受Particle 等污染。

產(chǎn)品性能

·  針對長壽命和振動而優(yōu)化的機制；

·  因沒有內(nèi)部橫截面的限制具有高傳導(dǎo)性；

·  維保及更換方便；