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O3 System
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O3 System
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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品概要
·用無聲放電法把 O2轉(zhuǎn)化為高濃度，高流速的 O3應(yīng)用到半導(dǎo)體工藝
產(chǎn)品特性
·高純度，高濃度臭氧
·無消耗品，節(jié)省費用
·小型化及模塊化
·O2 流量范圍可實現(xiàn)工藝靈活性調(diào)整
·經(jīng)驗證的Cell結(jié)構(gòu)設(shè)計可生產(chǎn)高濃度臭氧
·閉環(huán)操作，更嚴(yán)格的過程控制
·高氧化還原電位