產(chǎn)品概要

用途:安裝在 Vacuum Pump 前端，使 主設(shè)備及 Fore-line 和 Vacuum Pump 進(jìn)行隔離。

·  為了保持設(shè)備或Fore-line清潔度和真空度.免受因Pump異常狀態(tài)和作業(yè)等引起的污染，必要時(shí)進(jìn)行隔離。

·  正常Process以外設(shè)備或Fore-line作業(yè)時(shí)，從上部Condition到Pump 進(jìn)行隔離，防止Pump過(guò)載或受污染。可防止設(shè)備或Fore-line 作業(yè)時(shí)，Pump 停止后重啟而導(dǎo)致的Fail現(xiàn)象。

·  Pump Trip時(shí)快速關(guān)閉，從而防止或*小化 背壓 & 污染源逆流現(xiàn)象,→保護(hù)Chamber和Wafer免受Particle 等污染。

產(chǎn)品性能

·  Soft Pumping 功能；

·  Quick Closing ( 0.4~0.6s)；

·  通過(guò)Pump/設(shè)備端通信可 AutoClose 及Monitoring；

·  Powder & Particle Protection 功能；

·  內(nèi)部裝有加熱環(huán)，防止 Powder沉積延長(zhǎng)使用周期；

·  Harsh 工藝適用；